授課老師 : 張睿達
學 分 : 3
課程編號 : 24149
上課時數 : 3小時 / 週
預修課程 : 無
課程簡介 :
本課程將利用製程模擬及元件模擬讓學生自行設計製程與元件而達到要求規格.而使學生畢業後投入半導體研發工作能有完整的概念.課程內容包括模擬軟體與系統介紹,CMOS元件製程簡介,元件特性簡介,數值方法介紹,製程模式與元件模式.課程之作業將依照積體電路之製程順序讓學生能熟悉每一步驟之影響,並對製程及元件物理有深刻之認知.
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國家毫微米實驗室
專題 Special Topics:
Diffusion Modeling of Implanted Indium During Rapid Thermal Annealing